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山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示

立式爐

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產(chǎn)品 新聞 下載

氧化/擴(kuò)散/退火爐

? 適用領(lǐng)域： ?集成電路、先進(jìn)封裝 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging ? 適用材料: ?Si Suitable for Processing: Silicon (Si) ?晶圓尺寸: ?12/8英寸 Wafer Size: 12/8 inch ?適用工藝: ?氧化(Oxidation)、退火(Annealing)、固化(Polyimide)、合金(Alloy)、擴(kuò)散(Diffusion) Applicable Processes: ?Oxidation, Annealing, Polyimide Curing, Alloy, Diffusion

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